应用化学研究所

金属电子化学品前驱体及其在CVD/ALD集成电路领域的发展机遇

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2024-05-10

03月10日下午，威顿晶磷电子材料股份有限公司副总经理，香港中文大学宋福全博士来我所作题为《金属电子化学品前驱体及其在CVD/ALD集成电路领域的发展机遇》的学术报告。